uppvärmning av mocvd-reaktor med induktion
Induktionsuppvärmning Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) reaktorer är en teknik som syftar till att förbättra uppvärmningseffektiviteten och minska skadlig magnetisk koppling till gasinloppet. Konventionella induktionsvärmande MOCVD-reaktorer har ofta induktionsspolen placerad utanför kammaren, vilket kan resultera i mindre effektiv uppvärmning och potentiell magnetisk störning av gasleveranssystemet. Nyligen … Läs mer